说到这里,他又用笔指着另一个图标说道:“到了这一步,就必须在氩气环境内进行下一步了,因此,我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。”
“等等,郭部长,清洗和烘干这两个步骤,光刻机、离子注入机和CVD机都要用到,而且你还忘了,回火这个步骤,单硅晶棒在切薄片的时候,因温度过高的原因会变形,因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士,比他们更了解整个制程工艺。因此出言提醒了郭东。
“谢谢你的提醒!范先生。”郭东不知如何称呼他的职务,只好叫他先生了。
“没什么,我们不是一起解决问题嘛!”
范学东摇着手,客气道。
“好!既然是这样,那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体,只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。
说完他又皱起了眉头,然后像自言自语地说道:“不过这样一来,老板说的一条轨道远远不够,长长短短可能要十多条,像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”
“我想的也差不多,整套系统绝不简单,我们要把里里外外都考虑清楚了,再开始设计,尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最高的,还超过了他以前的顶头上司郭东,因此他没有顾虑的发表了自已的意见。
“嗯!卢总说得不错,那我们休会一个小时,大家都思考思考。”郭东作为主人,作了决定。
郭东说完,大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考,在心里描绘出整个系统的雏形,设想怎样才更合理。
“咚咚”过了一个小时,郭东准时敲响了桌子,将大家从思考中惊醒过来。
他见大家都注意到了自已就开始说道:“由于人数较多,就不一个个发言了,时间不允许。我说出我的想法,有什么不对的大家补充。”
他没等大家回答,组织了思路就开始说了:“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一条轨道上,具体步骤按我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火,然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘,因为硅片很薄,不能用机械的方式传输,否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空吸盘式,肯定不能用卡钳的方式,否则损伤更大。上胶机必须设计两部,两种不同的胶不能混和在一起,否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一个烘干的步骤,这里也要用机械臂直接输送不用设轨道。因此必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机体积都不大,可以布置得很紧凑。
又因为各个步骤都要检测,因此我们可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭,方便使用电子显微镜检测。
我设想的大体系统架构就是这样,具体到每部机器再具体设计。大家有什么补充的就说一下。”
说完他就坐到。,将位置让了出来。
“咳咳”卢汝成见其它人都不说,就咳嗽两声,开始发言:“我认为郭部长的设想已经非常完善了,我只补充一条,还需要一个单独的光刻胶腐蚀步骤。因为光刻机会进行多次光刻,那么就要进行多次的上胶去胶,因此,有必要设计一个单独的去胶室。”
说完这些他就不再说了,把时间让给别人了。其实到了这一步已经非常完善了,大家没什么好补充的了。因此一下子冷场了。
郭东见大家不再发言,就又站起来说:“既然大家不再补充啦!那我们就散会吧!吃饭时间到了,我们公司食堂的饭菜很好的,大家都知道的。哦!瞧我,范先生是客人不知道。罪过罪过!”
说完他调皮的对范学东双手作揖。
“哈哈哈哈!”大家又开心的大笑起来。
一个有能力的人,总是会想办法调节气氛。而郭东就是这样的人。
未完待续……
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第九十章 :未雨绸缪
长胜精工下午的工作会议,准时召开。在会上郭东将具体工作做了安排,
他将人员具体分成几个组,一个组负责一部设备的研制。他当总设计,负责整体框架。
郭东细分下去,各个组就再对自已组负责的设备进讨论。比如,一开始的去油就有麻烦。大家都知道,初步加工好的硅晶棒很重的,跟一条20英寸的大石条的重量是一样的。单晶硅就是沙子做的嘛!但它偏又极为骄贵。不能用机械的方式搬动和转动,否则就会有损伤。那到底要怎样才能把清洗液均匀的喷到单晶硅棒的表面上呢?经过左思右想,最后他们想到一个简单的办法。用两根软皮带做了一个类似于担架的东西,用机械装置左右提升皮带的两头,单晶硅棒就在这个皮担架上滚动,以方便喷洒清洗液,而没有什么外表损伤。
再用这个装置把单晶硅棒输送到清洗室,用无氧超纯水进行冲洗。整个过程是一样的,只不过喷洒的液体不同。
第三部 分是烘干室,这一步就有点难了。这是因为烘干室和回火炉是共用的,因此这个工作室的温度很高。那个皮带担架不能到里面了,幸好硅棒耐高温,里面可用其它的装置接替这个工作。在整个系统里面,唯独这个步骤费时间。这是因为回火费时间,因此必须设计多达十几条机械臂,以保证下一个环节不要等硅晶圆。但是这些机械臂都是小型的,托不起整条硅晶棒。他们见到前面是采用吊轨的方式,他们就也采用这种方式,只不过把两条皮带换成了金属吊环,在这个步骤单晶硅棒不需要移动,是吊环在移动,因此也不会对单晶硅棒外表造成损伤。
后面的切割环节,重要的是要迅速,不要下面还在慢慢地切,上面已经切好的部分因为温度下降过快变形了。同理切割好的硅片也要迅速转移到回火炉。因此他们改变了郭东的设想,只与回火炉相通,且不设门,就是为了防止硅晶片降温太快。
同样的,后面的步骤都有改动,比如:打磨好的硅片就要加两道纯水冲洗和烘干的步骤。又比如:涂了底胶之后不能烘干,而是要与基片相沾之后才能烘干。
因为各个步骤的用时不同,又需要整体设法解决,等等……。他们解决了一个问题又遇到了一个新问题。时间就这样不知不觉的流逝了。
沈丹青在焦急的等待中,却等来了长胜建工王全福的报告。
“老板,我们的职工子弟学校已全部建好,包括后期的园林绿化。幼儿园十所,小学、初中、高中各一所,我们想请老板去验收。”因为事情很重要,因此王全福亲自来向他汇报。
“好!非常好!真是个好消息。从此我们的职工就可以将子女接到身边来读书了。”听到这个好消息,沈丹青忍不住大声地说道。他在心里还补了一句:这下员工们就更归心了。
接着他大手一挥又说道:“学校这么多,我明天就抽一整天时间和你去看看,你明天早上就到我家来吧!你陪我一起参观参观。”
“好的,我明天早上一定准时到。”王全福立马应承下来。
说真的,企业对员工的约束力,与企业对员工的付出是成比的。像长胜投资集团内,没有谁敢反抗沈丹青的命令。而那些工作时间超过12小时,只有300块基本工资的工厂,对其员工的约束力就几乎为零。
随后,沈丹青又向王全福粗粗地了解了整个工程的情况,就让他回去了。
长胜投资集团经过这几年的发展,公司规模越来越庞大,企业职工收入越来越高,福利待遇越来越好。沈丹青的手下也渐渐地敬畏他,除了工作汇报,其余工作时间,他已经成为了一个孤家寡人
,就像古时候的帝王一样。他也曾仔细思考过,得出这是作为上位者必须付出的代价,于是他也泰然处之了。
下班回家,他在院子里见到了正在到处乱窜的女儿沈倩。他童心一起,想吓吓女儿,于是大声说道:“嘿!宝贝,爸爸回来啦!”
那知女儿不仅没吓到,听到他的声音反而飞快地朝他跑来。嘴里奶声奶气地叫道:“粑粑、粑粑。”
“唉!慢一点,我的宝贝。别摔着啦!”
沈丹青只好边说边蹲下来,伸出了双手,迎接他的小宝贝。
小宝贝一路走,一路洒下欢快的笑声。在她幼小的心灵里,知道是最爱自已的爸爸回来了。妈妈虽然天天陪着她,但对她也很严厉。只有爸爸最宠爱她。
扑到了爸爸的怀抱里,小家伙就抱着他猛亲。似乎只有这样,才能表达她的心情。
“呵呵呵!哦!我的小宝贝,这么想爸爸了。”沈丹青此时的心灵就像尘封已久的冰山,一瞬间被女儿用神火溶化了,只剩下醉人的温情。
小家伙还不太会说话,只会说一些简单的重复字节。因此她就用她特有的方式来表达。当沈丹青抱着她往家里走的时候,她就用她那双肉嘟嘟的小手,不断抚摸着沈丹青的脸颊,她还是没改掉爱摸她爸爸胡子的习惯。
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