他喜欢把复杂的问题简单化,往往能找出关键的节点。其他的问题虽然复杂,但却可以用时间和人手加以解决。
想到不久就要开始制造光刻机,他就抑制不住的激动。不过光刻机只是一个方面,还有一个重要的环节就是化学。这个环节甚至比光刻机更重要,芯片制造中之所以废品类高,就是因为这个环节。因为芯片制造因为太精密太复杂,已经不可能使用人工的方法,只能用物理和化学的方法来制造。可见化学在芯片制造中的重要地位。
想到这里,他就想给化学研究所几个任务了。他决定亲自去一趟化学研究所。于是就走到外间对正在工作的秘书刘泽平说:“刘秘书,我们去化学研究所,你准备一下。”
“好的,老板,我马上就好。”刘泽平说完,就收拾好桌上的文件,去秘书室叫人来顶替他的工作。整个过程只用了2分多钟的时间,沈丹青连一个念头都没有想通就被刘秘书叫醒。
“老板,可以走啦!”
“哦!好,走吧!”沈丹青有点没反应过来,说话都不顺畅。
到了化学研究所,由于没有通知,只好在外面等,刘秘书让保安去通知所长。
不一会儿,所长王波就气喘吁吁的跑来了。他连忙向沈丹青道歉:“老板,劳你久等,对不起啦!”
沈丹青却笑意吟吟地说:“没什么,是我来得忽忙,没有通知你。”
接着他话锋又转问他道:“怎么样?现在研究任务重吗?”
“不重,我们现在只进行一些常规性研究,和一些前沿理论研究。”王波当所长久了,知道老板的脾气,因此实话实说。
“那好,既然你们科研任务不重,我就给你们加几个任务。”沈丹青说出了他这次来的目的。并且不等王波回话,就吩咐他道:“你去通知大家到会议室开会吧!我要在会上给你们布置任务。我要讲的事情比较多,耽误一下你们的工作也是没办法。”
“哪里的话,老板的事才是最重要的事,老板你稍等,我马上去通知他们。”王波说完,微微欠了欠身,就回头去叫人了。
要将整个研究所的科研人员通知到,王波也花了整整一刻钟的时间。他先让大家去会议室等着,就又到门卫室那里来找老板。
“老板,我已经通知大家在会议室等你了,我们现在过去吧!”王波因为是老所长,所以他的语气有点不卑不亢。这就是资历的原因,跟老板相处久了,知道他的脾性。
沈丹青大手一挥说道:“好,我们过去吧!不能让大家久等,耽误大家的工作已是不该了。”
未完待续……
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第七十八章 :死命令
沈丹青带头,他们一行三人就往会议室赶去。到了大会议室沈丹径直往台上走去,其它两人就在台下第一排找位置坐了,这也是长胜投资集团一贯的会议风格,大家都习惯了。
沈丹青往台上发言席一坐,就扫视了一下全场,整个会场顿时静悄悄的,落叶可闻。只见台下黑压压一片,起码有两三百人,化学研究是个大科目,所以研究人员比较多。
“咳咳”沈丹青先咳嗽了两声,清了清嗓子才开始发言:“我今天来,有一件重要的事要告诉大家。再过不久我们公司就要进行芯片生产设备的研发,其中你们化学研究所就占了很重要的任务。
芯片到底是怎么生产出来的?大家都没有见过,也不知道,今天我就跟大家简单的说一说。
1块20英寸直径的硅晶圆,上面一次可以蚀刻近两千块微型芯片。因为微型芯片内部的微型电路特别精细也特别多,因此不可能用人工完成。国外的科学家就发明了用物理和化学的方法来蚀刻芯片。物理的方法就是使用光刻机,化学的方法才是真正蚀刻芯片的关键。包括后期的离子参杂和铜互联,整个过程全部都有化学的参与。因此你们才是整套设备研发的关键。
我先将整个步骤简单地同大家说一说。首先准备两块抛光好的硅晶圆,将其中的一块涂上垫底胶,叫做底片。这个垫底胶就是你们研发的第一个任务,它要求稳定、附着力强、耐腐蚀、耐紫外光照射。因为第二片硅晶圆就是用垫底胶附着在底片上,我叫它基板,他才是制造微型芯片的真正材料。第二个步骤就是在基板上涂上光刻胶,激光通过掩模板照射在基板上,未被激光照射到的基板上就留下了一个个图形,这些图形就是真正的芯片。这个光刻胶就是你们要研发的第二种化学胶。它对紫外光极度敏感,被激光照射后就变质了,用水一冲洗就露出了下面的硅晶圆。大家注意这个水也不是普通的水,必须是无氧无杂质的超纯水。因此也是你们的研发任务。冲洗完之后就要烘干,然后进入下一个环节蚀刻。蚀刻就是对露出来的硅晶圆溶解掉,直到露出底板胶为止,然后再用纯水冲洗干净烘干。到目前为止就形成了一块块独立的芯片雏形。下面就进入了一个重要的环节真正的蚀刻电路,步骤与我刚才介绍的差不多,经过几十上百次的重复光刻—显影—清洗—烘干—蚀刻—清洗—烘干。才最终把电路蚀刻好。下面就进行掺杂,要掺杂我们需要的好几种杂质,如:硫、磷、砷等等。整个过程也要进行十几次重复,最终才真正制成我们需要的各种晶体管。
这个时候各个晶体管还是独立的没有连接所以不能发挥作用,我们需要对它进行铜互连工艺。不过无氧铜天然的与二氧化硅不太相沾,因此我们又需要对晶体管表面镀一层粘连层,以便与无氧铜能相沾。记住,是晶体管的两头,其余的地方全部要用光刻胶覆盖了。怎么镀呢?!一般采用离子气相沉积法,镀上一层淡化钨、氮化钛、淡化钽等等这几种物质都能很好地与二氧化硅相沾,也能与铜相沾,也都是导电合金。因为是在氮气的环境下进行蒸镀的,因此温度比较低,对晶体管造成的损伤很少。做完这一步,就可以进行铜互联工艺了。这道工艺也是光刻—显影—清洗—烘干—蚀刻—清洗—烘干如此再三,要刻上十层铜连线。大家注意,每层铜连线之间开始都要铺上一层光刻胶,因此需要一道独特的溶解工艺,要溶掉所有光刻胶,便于芯片散热。我想大家应该就明白了,蚀刻铜的化学液,还有溶掉光刻胶的化学液,也要你们研发。
都是你们从未听过的和见过的化学物质,任务很艰巨,我只能提醒你们光刻胶是一种有机化合物,里面会有一种重要的物质就是蛋清液。其他的我也爱莫能助。但是我也只能给你们半年时间去研发,你们需要什么资料和实物可以让技术信息部去国外想办法弄回来。不过你们也要知道他们能弄回来的,也是前几代的产品,只能作为参考。你们要在这个基础上进行再一步的研发,因为我们的制程工艺技术比国外还要先进,已经达到了纳米级,因此对这些化学物质和离子气相沉积技术要求更高,否则就不能保证良品率。甚至可能不成功。由于事情的重要性,因此这次是死命令,只许成功不许失败。成功了我有重奖,没有成功我就会重罚记过。大家听明白了吗?”
“明白了”下面响起了稀稀朗朗的应和声,而且参差不齐,看来大家都没有把握。
下面员工的心态,沈丹青他也早已预料。因此也没有发火,免得加重他们的心理负担。他只是冷冷地说了一声“散会”就起身走出了会场,秘书刘泽平赶紧跟上,他已经习惯了老板雷历风行的做风。
他们俩人是走了,走得轻快。却留下了许多的难题,给化学研究所。
老板走后,研究所的众位研究员都在高声的议论,个个摇头,唉声叹气,谁都没有把握。
王波也感到很棘手,但他是所长没有办法,只能挑起这个头。因此他走向主席台,“咚咚”用手拍了拍几下麦克风。
看到台下的人都注意到了他,也停止了议论。就说道:“刚才老板布置的任务,大家都听清楚了,说实话确实很难。全部是我们从未接触过的化学材料,但再难我们也要克服,因为老板说了这是死命令。我相信大家知道轻重。完成了我们个个有重奖,未完成我们个个等着受罚吧!不用想大家也知道该怎么选择。刚才我从老板的讲话中总结了一下,只有以下几个重点。
第一,就是垫底胶。老板说要高稳定、耐腐蚀、耐紫外光暴晒,我看他还少说了一点,应该还要绝缘。这么一说我就想,不就是塑料吗?应该说是一种特别的塑料,我们就从这里想办法。
第二,就是光刻胶。这个东西国内就有,因为国内已经有三英寸的制程工艺。当然我们肯定要改进,老板说了里面含有一种重要的物质:蛋清液。我们就从这两方面想办法。
第三,就是蚀刻液。它分两种,第一种就是溶解二氧化硅的化学溶液,第二种就是能溶解无氧铜的化学溶液。我们就从这两个特性上想办法。
第四,离子气相沉积法。这不是我们一家的事情,我们可以找物理所一起想办法。
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