电子重生 (周硕)

即使最终调查结果表面。泛翰集团没有掌握0.5微米线的技术，尼康也有必要把其提升到值得关注的级别。愿意下力气去投资研究原子沉积和纳米光栅的机构。绝对是不能小看的对手。

“这应该是中国水平最高的实验室了吧？”松田礼人能被通产省派出来，和城三太郎共同承担对泛翰集团的调查，当然不会是个草包。虽然在具体的研究领域，他的水平不值一提。但他在日本政府里，却是难得的对华技术专家。很多次日本政府对中国的技术考察团队，都有着他的身影。

只要稍稍把国内其他科研院所的条件，和泛翰帝都研究所进行比较，不难得出它在国内的建设水平。

“请等一下！”城三太郎眼神一缩，突然站出来大喊一声。

“扉扉女士，我能进入这间实验室参观一下吗？”城三太郎指着他们经过的一间实验室，略微有些激动的喊道。

笑扉扉拢了拢耳边的头发，略微有些慵懒的说道：“你是……哦，城三先生，请问有什么问题吗？我们这次参观的目的地是nand内存的生产线，非必要科室原则上是不能参观的。”

“嗨，请务必让我参观一下这个实验室！”城三太郎深深的鞠了一躬，恳切的说道：“如果我没看错的话，这应该是个激光实验室吧。”

笑扉扉敛住了笑意，看了城三太郎一眼，面无表情的说道：“对不起城三先生，你的问题我不能回答，请不要给检查团的行程添加麻烦。”

城三太郎直起腰来，皱着眉头请求的看向前面的领队北大路拓也。在日本使团里面，唯一有权力变更参观项目的，恐怕只有他了。

“笑桑，我们的协议是对泛翰研究所进行参观，并没有限定某个研究科室吧。”北大路拓也硬着头皮凑了上来，作为东芝的考察团长，他并不希望和泛翰集团把关系弄的很僵硬，毕竟u盘专利授权还捏在人家的手里。

笑扉扉摇了摇头：“但是也不可能任由你们进行参观吧？我们的考查范围是在之前的谈判中确定好的，这个实验室并不在考查范围之内。”

“事情总有变化嘛！”北大路拓也在松田礼人逼视的目光下，只好硬着头皮上阵了：“谈判里的条件，也是和芯片生产线相关的技术研究单位，如果这个实验室是个激光实验室，我认为显然和芯片生产技术相关。”

负责接待的泛翰帝都研究所运营部门负责人赵大健突然插进话来，紧接着笑道：“北大路先生既然想参观，那就简单的看两眼好了。正好东芝集团也是在日本非常著名的科技企业，说不定还能在这方面对我们有所指导……”

松田礼人挑了挑眉毛，看向了北大路拓也，微微的点了点头。他在赵大健的身上，看到了过往在中国研究所参观时候的普遍态度。那就是对中国自己技术的不自信，有的人不自信会导致盲目自大，有的人不自信却会导致严重的自卑。

显然，这个赵大健很可能就是后者。再从他的身份上看，目前的芯片生产线是归属于运营部负责的。在泛翰研究院里，最希望能够从东芝引进0.5微米生产线的，肯定就是这个赵大健。一旦掌握的生产线数量增加，运营部很可能就会从研究院中独立出来，成为一个晶圆厂。

日本人在参观之前也是做过功课的，泛翰研究院虽然安保措施很严密，但这些基本的内部结构还是很容易能够获得。北大路拓也在松田礼人的暗示下，很快也就明白了问题的突破点在哪里。

“啊，没错！我们东芝的激光技术，在日本还是非常不错的。如果能够有幸参观一下泛翰集团的实验室，说不定我们可以互相交流一下……”

北大路拓也这话说的自己都有些脸红，东芝又不是尼康，在激光器方面的研究非常有限。能扯得上关系的，最多也就是激光打印机或者发光二极管这种级别的技术而已。和光刻机所涉及到的准分子激光相比，根本就是一个天上、一个地下，互相交流纯属扯淡。

“那就太好了！”赵大健才不管北大路拓也扯的什么借口，最后只要0.5微米生产线能够到手，实现运营部扩建成晶圆厂的目标，技术开发部门这边是死是活和他有什么关系？

至少在松田礼人的眼里，赵大健的表现，一定是对应了这种心理活动吧。中国人向来喜欢互相拆台，眼光短小、又非常迷信外国技术……

“赵部长，你怎么能这样！”笑扉扉跺着脚，拦在他的面前，恼怒道：“这个激光实验室是泛翰研究院的一级核心实验室，没有我的同意任何外部人员都不能进入的！”

赵大健却根本不卖她这个院长的帐，仗着自己男人身强力壮的优势，用力将她推到了一边，哼道：“让开，你懂什么？误了我们运营部进口生产线的大事，你这个院长也是要当到头的！”

说完，赵大健用自己的id卡划开大门，笑着为日本调查团领路道：“诸位，欢迎参观我们的激光实验室！”

第二百九十四章截胡

“北大路先生，你看我们的激光技术怎么样？这套准分子激光设备，是我们泛翰研究院自行研制的，能够生成193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑，将日本检查团领进了实验室。

一七三所前研究员江清月，正是在这个实验室里，进行着自己的工作。所谓准分子激光，并非是对激光本身属性进行的描述，而是特指的发出激光物质为准分子。

准分子激光一般是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体，受到电子束激发形成的激光。光子能量波长范围在157－353nm之间，由于激光是在气体受到外来能量的激发，所引起的一系列物理及化学反应中，曾经形成但转瞬即逝的分子发出的，所以被称之为准分子激光。

这种激光的一个特点是寿命极短，只有几十毫微秒的时间。超过这个时间，发出激光的分子，就会迅速还原成原本的气体状态。其中193nm波长的激光，就是用来作为治疗近视等眼部疾病使用的激光刀。同时，193nm的激光也是后世光刻机普遍使用的波长。

江清月在众人进入的时候，正操作着一台氟氩气体激发的准分子激光器，测试将激光光源进行多次聚焦之后再恢复成平行状态。

城三太郎几乎是看到的第一眼，心里就大喊了一声“八嘎雅路！”。从几组透镜的布置来看，泛翰集团显然已经是在研究0.35微米工艺的光刻机了！光刻机的加工精度不同，使用的透镜数量、种类和布置都有非常多的讲究。

作为尼康光刻机项目的参与者。城三太郎对当前最先进的0.35微米工艺光刻机，透镜的布置当然是了若指掌。他百分之百的肯定。泛翰集团目前已经摸到了这项技术的门路，实现技术突破恐怕只是时间问题了！

“赵部长。你这是做什么？”江清月看到一行人挤进了实验室里，皱着眉头问道。

“小江啊，快来我给你介绍一下！”赵大健呵呵笑着，摆了摆手说道：“这是日本东芝来咱们泛翰研究院的考察团，给国际友人们汇报一下咱们的研究进度，说不定还能给你的项目指点一二呢。”

江清月疑惑的看了赵大健一眼，她在泛翰研究院只是比较基层的研究员，级别是比不上赵大健的。但赵大健负责的是运营部，本身又管不到技术部的事情。她抬头向外面看去。却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头，这才放下了心来。

“我们的试验正在测试高密度石英材料制作的镜头，在经过多次反射折射之后，进行色差补偿的方案……”

“色差补偿！”城三太郎微微一愣，脸上的表情就有些僵硬了。如果说之前他还只是怀疑，那么听到江清月的研究内容，就几乎是坐实了泛翰集团在0.35微米工艺的技术上，肯定是取得了不小的突破。色差补偿是光刻机研究领域，非常重要的内容。通过使色差最小化。能够抑制由激光带宽变动所引起的光学邻近效应。比如局部光斑、入射角和热象差、偏振状态控制能力的保持。

这些技术难题，直接决定了反射镜的数量与类型。这些镜头设计的细节，每一点改进都意味着距离成功更近了一步。

“我能看看你们的实验记录吗？”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求，中国人或许可以摆一个花架子来骗他。但绝对没有办法编出一套正确的实验结果来。如果这种实验记录都能编出来，那更说明他们掌握了这项技术……

“小江，还不快把你们的实验记录拿出来。给城三太郎先生看看？”赵大健说着，还回过身来致歉道：“城三先生是东芝方面的光刻技术专家。您稍微指点两句，肯定会让我们获益良多。”

“哪里。我想以中国人的智慧，一定可以取得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了实验记录，也就不在意多客气两句了。在日本越是受教育程度高的人，对汉语阅读就越流利，倒是不用担心他会看不懂实验记录。

城三太郎打开实验记录，粗粗的扫了两眼，不由得就是暗自心惊。各种光波在不同材质之中穿行，产生的变化都不相同。193nm的准分子激光，想要应用在光刻机上，就必须对镜头进行全新设计。在此之前就必须详细的试验新材料，全面的了解镜头对激光产生的所有影响。