套刻精度与光刻分辨率相?关，直接受其影响。
至于产能，则与光源系统的稳定相?关。
以上是?对激光器的要求，相?对整个?光源系统的技术要求不?算高，系统工程程序中最难的步骤是?光的收集。
收集难度大，转化效率也低。
雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计算：“所需的极紫外光必须在真空下进?行?反射，不?能被折射，因?为它非常容易被吸收。真空腔内的反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十几?次反射，最终剩下的光线不?到2%！”
围观过来的研发部成员倒吸一口凉气，虽早知光源转化率低，但听?到这数字还是?低得让他们心疼。
光源转化率低就意味着能量的巨大消耗，最直观的例子，一台euv机器输出功率两百瓦左右，工作一天，耗电三?万度。
光线利用率不?到2%已经是?优化其他性能所能够得到的最佳数据，决定该性能优化的决定性关键就是?反射镜的精度。
“精度必须以皮秒来计算。”
换句话说，光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。
盛明安：“用硅和钼反复镀膜，直到光线利用率达到国际标准。”
当下有?人反驳：“都是?纳米级镀膜，反复镀膜也会影响精度，工艺太难了?！”
难度多大？
最浅显易懂的比喻便是?将一面直径不?超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面，其平面起伏不?能超过一根头发的直径。
而光刻机所需的反射镜多达四五十层，平面精度一层比一层要求更平整。
全球只有?德国蔡司这家传承三?代?以上的企业才造得出这种反射镜。
当然，反射镜不?对华出口。
盛明安：“不?用担忧反射镜能不?能被打磨出来，你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。”
“数据、模型，不?管失败成功，统统记录下来。”
盛明安语速打机关枪似的，斩钉截铁、不?容置喙，仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然有?序，所有?的技术难点都可以被轻松解决。
他胸有?成竹，心有?沟壑。
他不?必开口安慰，只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每个?人退怯、不?自信的心。
“杜颂，打开你的modelica先进?行?初步的超精密激光器建模仿真。”
modelica是?一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件，可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。
杜颂：“已在创建。”
他领着自己小组成员低头忙碌。
“雷客，你调整一下光路结构。”
“好。”雷客示意助手打开opc（光学邻近矫正）软件，通过模型动态仿真结果?计算查找表修正光与图案。
盛明安匍匐在桌案，设计市场需求的激光光源，就目前的技术发展而言，光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。
驱动光源产生的碎屑数量，光谱纯度，每提高一个?技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先进?的euv，其功率消耗大、产能低，再过五六年也未能完美解决这两个?问题。
可盛明安不?清楚。
他虽不?愿用前世记忆盗窃他人成果?提前制造出国产光刻机，可前世是?他完美解决euv产能低的问题，因?此习惯性顺手将这难题归入待解决列表之一。
以至于后来一举攻破该技术节点实现反超asml目标，实属意料之外。
***
15年5月份左右，国际半导体发生了?一件大事。
asml官网对外发布突破光刻机量产瓶颈，正式对外售出可量产14nm极紫外光刻机！
此举瞬间激起千层浪，全球各界媒体报道不?休，半导体发烧友热闹得跟过年一样纷纷发表讨论。国内贴吧、技术论坛和逼乎新帖不?断，基本都是?讨论asml这一举措将带来怎么?的影响。
【光刻巨人：asml真正的崛起！】
国内科技网对asml的新闻标题被搬到国内电子发烧友论坛，论坛主搬来这标题就已经表明了?他对未来全球半导体地位的划分认可。
【如标题所说，从今以后，asml是?唯一的光刻巨人！】
【佳能、尼康的时?代?消失了?，光刻机百花齐放共竞争的时?代?一去不?复返，将来只有?asml一骑绝尘的身影！】
【虽然不?想承认，但欧美又在一个?重要的领域里实现了?科技霸权！】
【诸位，配合英特尔、高通今年年初发布的将于15年实现14nm核心处理器、年末实现10nm核心处理器的新闻发布会食用，而国产光刻机还停留在365nm光波长的第三?代?光刻机技术节点！】
【拉开了?两代?，落后二十年。】
【华国被死死扼住半导体产业的喉咙……】
【感到窒息。】
另一个?贴没有?这么?丧气，但基本是?在吹asml，回顾asml的历程，曾经也不?过是?个?半生不?死的小公司……
【谁还能记得曾经的asml濒临倒闭？】
【那时?候的尼康和佳能才是?霸权半导体领域的大佬，可惜封杀了?台积电林大佬的浸润技术emmmm结果?最后被asml捡漏。】
【asml的崛起之路从这一步开始[滑稽]。】
【命运真是?奇妙，谁能料到最后会是?名不?见经传的阿斯麦尔抢先一步研发出第五代?光刻机？】
【小声插一句，我国有?机会研发14nm光刻机吗？】
【？？asml肯卖给我们一台euv就偷笑?了?，还自主研发？做梦呢！】
【肯定告诉你：有?！二十年后！】
【不?过那个?时?候的半导体可能已经发生翻天覆地的变化，摩尔定律失效，现有?的光刻机技术臻至极限不?再寸进?，或许出现了?新的机器替代?光刻机，量子定律取代?摩尔定律……我们再次被甩开二十年。】
【也不?必这么?悲观，或许二十年后，华国光刻机技术实现超英赶美。】
【摩尔定律没那么?轻易被取代?，你以为重新诞生一个?定律很容易？】
【盛神不?是?解决了?量子纠错的难题吗？很多人深受鼓舞，投入量子课题研究。只要某个?领域天才成群结队而来，天大的难题被解决也只是?时?间的问题。】
……
【怎么?跑题了?？】
【说回正题，祈祷美帝不?会一个?看?我们不?爽就对我们实行?芯片制裁吧。】
【什么?意思？】
【asml控股大头是?美帝公司！】
蓝河科技。
林成建步伐匆匆进?入研发部的休息室，室内盛明安和陈惊璆都在，还有?雷客、杜颂等人，他们一边吃中午饭一边继续商讨研究项目。
“看?到最新消息没有?？”
盛明安：“asml euv发布会。”
“对！”林成建坐下来擦汗，接过雷客倒来的水说：“现在全球订单飞向asml，一台售价1.2亿美金，订单排到了?18年。”
光刻机工艺复杂，就算是?asml一年也只能造出十几?台。
“华芯的人也去下订单。”
杜颂急问：“怎么?样？”
盛明安不?用问也知道结果?，陈惊璆则安静的挑出碗里的辣子鸡块规整放到一旁的饭盒盖上，然后推给盛明安。
陈惊璆：“我不?吃辣。”
盛明安抬眼，扫了?眼他那碗几?乎没动过的辣子鸡，相?信了?。
辣子味道又香又麻不?呛喉咙，鸡肉嫩滑多汁，吸收了?辣子的香味，吃起来很刺激舌尖。
盛明安很喜欢，他说：“谢谢。”
陈惊璆笑?看?着他。
对面一姑娘来回看?两人，心想盛神跟老板太基了?吧。
林成建：“被拒绝了?。”
杜颂：“艹！”
其他人心情激愤却也无可奈何，谁让他们的技术就是?落后人家十几?二十年？
落后活该挨打呗。
欧美各国遵守的《瓦森纳协议》就是?专门针对禁止对华输入高阶精密科学仪器和技术，asml不?敢违背协议，自然拒绝对华销售euv。
没有?euv，他们还得从台积电，从英特尔、高通等美帝企业那儿购买芯片，巴巴送钱过去看?人脸色。
休息室众人情绪低沉，盛明安察觉不?到，自顾自吃饭，吃完了?就拿起手边的热水慢吞吞喝两口解腻，浑身通透的舒服。
第65章 星晓[12] 方案可行。
杜颂鼓起勇气?问盛明安：“盛神,我们多久能够研发出高阶光刻机？”
盛明安：“短则一两年，长则四五年。”
杜颂失望：“这么久？！”
盛明安疑惑：“asml花六年时间才验证euv方案可行，之后耗费十来?年时间才研发出可量产的高阶光刻机。我们刚起步,难道?两三年还不够快？”
“呃……”杜颂挠头,不好意思的笑笑：“我太心急了?。”
下一刻,他变了?脸色，着急询问：“那我们两三年内能研发出国产14nm光刻机吗？”
盛明安环顾在场众人，这才发现?他们难掩焦虑和颓靡,结合他们刚才的讨论?，猜出杜颂心急的原因，沉吟片刻便说道?：“华国2002年就把攻克光刻机列入863计划，08年又启动了?02专项计划，我们起步慢，但也有了?十几年的沉淀和铺垫。”
